Het onderzoeksinstituut naar nanolithografie komt op het Science Park in Amsterdam. Initiatiefnemer voor het instituut ASML had vier universiteiten uitgenodigd om een voorstel in te dienen: Eindhoven, Nijmegen, Aken en de gezamenlijke bètafaculteit van de universiteiten in Amsterdam. Uiteindelijk is de keuze op Amsterdam gevallen.
ASML uit Veldhoven is bouwer van machines voor de productie van chips. Het bedrijf neemt meer dan een derde van het budget van het instituut voor zijn rekening en investeert circa dertig miljoen euro.